作者：ChristofHuber，Endress+Hauser Flowtec AG, Kägenstrasse 7, CH-4153 Reinach,Switzerland翻译：广州虹科电子科技有限公司 传感器事业部 李金涛 摘要本文探讨了最近发布的基于MEMS（微机电系统）的气体过程密度计的应用。该传感器的核心在于谐振的硅微管，在测量过程中，测量气体会流经该硅微管，硅微管在真空腔中发
我们知道，微机电系统（MEMS）传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。 绝大部分MEMS传感器为保证有很好的使用效果，一般要具备较高的防水、密封能力，如果说不具备有防水性
MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技，其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面，目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门的微传感器具有体积小、质量轻、响应快、灵敏度高、易生产、成本低的优势，可以测量各种物理量、化学量及生物量。在市场引导、科技推动、风险投资、政府介入等多重作用下，汽车MEMS传感器发展迅速，现已成为相关
MEMS传感器是指采用微机械加工和半导体工艺制造而成的新型传感器。因其体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、易于集成和批量化生产等优势，逐步取代传统机械传感器的主导地位，被广泛应用于消费电子、汽车制造、物联网、航空航天、医药化工等领域。我国是世界最大的电子产品生产基地，消耗了全球四分之一的MEMS器件，但因我国MEMS传感器产业长期处于产业链中下游，导致大部分高端MEMS传感器依赖进口。为破解
我们知道不管是封装材料还是各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足要求，会引起传感器信号漂移和高温不稳定性；引线键合强度不够，在工作中会断裂；硅油化学稳定和耐温性能不够好，会造成传感器高温输出信号不稳定，硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大等，这些问题的存在将影响传感器的长期可靠性。所以我们必须选择高性能的压力芯片和可靠的材料来制成。对应使用在汽车行业压力传感器更是如此。
MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器，是MEMS系统的重要分支。MEMS传感器以其优异的性能，如体积小、重量轻、成本低、功耗低、灵敏度高、可批量化生产、易于集成和实现智能化等特点，逐步取代传统机械传感器而占据主导地位。目前，MEMS传感器主要应用在消费电子、汽车电子、航空航天、工业控制、医疗健康等领域，未来物联网产业将是MEMS传感器应用的重要领域。MEMS传感器芯片，资料图
背景介绍 MEMS硅基压力传感器具有体积小、成本低以及性能优异等优点，在汽车、生物医学以及航空航天等领域有广阔的应用前景，前期推文硅基压力传感器—MEMS中，我们初步了解了传感器的内部结构以及工作原理，在此基础上，调研了国内芯片封装产业链的大概情况，归纳汇总了压力传感器的封装工艺。 封装是保证压力传感器能够准确感知外界环境变化的前提，是产品成功实现商业化的关键因素，其核心内容有: 1. 机械支
详细解说IMU惯性测量单元 IMU可获得载体的姿态、速度和位移等信息，被广泛用于汽车、机器人领域，也被用于需要用姿态进行精密位移推算的场合，如潜艇、飞机等惯性导航设备中。 青岛智腾mems加速度计芯片基于MEMS技术的IMU，以及MEMS惯性传感器，将是未来发展的重点。惯性测量单元简称IMU，是测量物体三轴姿态角（角速率）及加速度的装置。陀螺仪和加速度计，是惯性导航系统的核心装置。借助内置的加速度
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2024-09-26 10:28:41
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背景介绍 压力传感器作为触觉传感的核心部件，要求对外界机械力进行精确、稳定的探测和反馈，是人机交互系统发展的关键，在工业机器人、电子皮肤等领域具有广泛的应用。调研可知，压力测量的方法主要有：1. 电阻应变式压力传感器；2. 压电式压力传感器；3. 电容式压力传感器；4. 光纤式压力传感器；5. MEMS硅基压阻式压力传感器等，考虑到硅压阻传感器体积小、稳定性强、优异的环境适应能力以及较低的加工生
MEMS 的全称是微型电子机械系统，利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。具有小体积、低成本、集成化等特点。MEMS工作原理图1MEMS传感器的应用领域除了智能手机，MEMS传感器将会在 AR/VR、可穿戴等消费电子，智能驾驶、智能工厂、智慧物流、 智能家居、环境监测、智慧医疗等物
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2024-07-25 15:39:04
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MEMS惯性传感器有哪些趋势？道翰天琼认知智能机器人平台API接口大脑为您揭秘。如何在灾难救援中，精准定位受困人员的位置？如何在无人机操作中，提高系统精度？如何在人机交互中，更好的实现动作检测和姿势识别？如何在自动驾驶中，做到更精确的自主导航…种种场景中，都离不开MEMS惯性传感器的作用。 MEMS技术拥有非常广阔的市场前景，特别是进入物联网时代，由于应用场景种类繁多，再加上产品生产技术
一、前言动态测试领域中传感器的高过载低量程一直是未能彻底解决的问题，这主要是因为传统工艺传感器固有的特性或工艺不能满足这一特定环境的要求。传统的压电传感器由于输出阻抗高，低频特性较差，在高过载后常发生零漂现象，使得测量数据不能真实再现被测量的动态过程，而传统工艺的压阻和电容传感器虽然在频响方面能满足测试要求，低频漂移较小，但由于制造工艺的原因，也不能较好解决这一测试问题。现在，MEMS技术的发展为
CCD传感器与CMOS传感器两者在结构、性能和技术上均不尽相同，在此我将两者作一个简单的比较，使广大读者对CCD和CMOS能有一个比较初步的认识。CCD和CMOS传感器是目前最常见的数字图像传感器，广泛应用于数码相机、数码摄像机、照相手机和摄像头等产品上。两者在结构、性能和技术上均不尽相同，在此我将两者作一个简单的比较，使广大读者对CCD和CMOS能有一个比较初步的认识，在选购相关产品时也能做到心
描述微流控技术的起源微型化、集成化和智能化，是现代科技发展的一个重要趋势。伴随着微机电加工系统(MEMS )技术的发展，电子计算机已由当年的“庞然大物“ 演变成由一个个微小的电路集成芯片组成的便携系统，甚至是一部微型的智能手机。MEMS技术全称Micro Electromechanical System，MEMS设想是由诺贝尔物理学奖获得者Richard Feynman教授于1959年提出，其基本
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-Electro Mechanical System），是指可将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术，所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术
原创
2022-02-11 16:05:09
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MEMS传感器作为变革的驱动力MEMS sensors as drivers for change物联网（IoT）正在改变与周围世界互动的方式。每个人，每件事，都是相互联系的，很快就会相互联系。微机电系统（MEMS）设备和传感器承担着收集、监测和分析数据（通常是实时）的重要工作。在接受《欧洲经济时报》采访时，TDK InvenSense的首席技术官彼得·哈特韦尔（Peter Hartwell）阐述
简介本节以TrueDyne sensor公司为例，介绍了什么是MEMS传感器技术，以及他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器技术相比，MEMS传感器具有许多的优点，例如：更小的尺寸、更加广泛的应用，以及即使是在低压、极短的放映时间内也能达到精确的气体密度测量等。 01 什么是MEMS技术？MEMS的全称，是Micro-El
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2024-05-23 23:00:45
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手机传感器带来了神奇的用户体验，整理归纳手机中主要的7 个传感器，以及他们的15个应用场景。重力感应器：也被称为加速度感应器。可以检测到手机加速度的大小与方向。原理就是利用压电效应来实现，当一个重力块因为重力原因改变方向，重力块下面的压电晶体接收到了电阻的变化，由此来判断重力的方向。主要应用场景包括：（1）屏幕横竖屏切换：没有配备重力感应器，需要手动来切换手机的横竖屏；在配备重力感应器后，只需要转
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2023-07-01 18:56:27
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（1）介绍拥有无与伦比的分辨率和精度，WPS500X汽车压力传感器可用于快速分析许多汽车系统的压力。精确测量到500psi超快100µs响应时间放大功能强化分析能力内部可充电锂电池内置压力释放/放气阀自动归零高噪音抑制温度补偿WPS500X具有超快100µs响应速度从满量程的0%至90%，并且灵敏度达到大约0.07psi (5 mbar)。这给你精确展示快速变化的信号，并且可跨越大压力范围。（2）
