1、床身平面度调试
X 轴两床身，先粗调主床身，如图 1 所示，在床身上横向放置两等高平尺，在两等高平尺上纵向放一平尺，通过垫铁使主床身两条导轨两端放置成水平，水平仪横向按
a、b、c、d 和纵向 e、f 的位置上，以相邻两垫铁为跨度，一跨一跨的往前测量，直到整条床身调试完成。粗调完成后放置 24 小时，以便于引力释放，然后同同样的方法精调，完成平面度的调整。
2、立柱、横梁几何精度的调试
立柱垂直度调整：将大理石平尺平放在工作台上，在XY 平面内检查两立柱的垂直。将角尺转 180重新检查， 这样便于消除角尺本身可能存在的误差，调整时松开连接梁，调整完毕后配制调整垫，用螺栓紧固。
调整两立柱的精度：将大理石角尺垂直放在工作台上，调整其在水平状态。大理石角尺放在与立柱相近的地方。调整时注意不要造成两立柱产生扭曲。
调整横梁几何精度：在进行横梁姿态和直线度检查之前，必须确保横梁平衡系统的工作完好，横梁平衡要保证在整个宽度上控制在 0.01mm 之内。
3、横梁与X 轴的平行度
可以使角尺的垂直面与 X 轴平行，测得直角尺的另一直角边与横梁 Y 轴平行度，通过 Y 轴运动可使其前后移动到合理内。
4、轴机械传动部位检查，消除机械间隙、滚珠丝杆副间隙
检查各轴传动部件，特别是丝杠两端背冒松紧度、轴承运行情况，本次在检查 Y 轴丝杠两端轴承时发现轴承保持架损坏，对此将两端轴承全部进行了更换。另外对滚珠丝杠螺母副进行检查，通过双螺母结构进行消除间隙，在施加预紧后看传动是否平稳、运行中是否产生爬行形象。
