知识星球里的学员问:在晶圆厂中很少见到超声波扫描显微镜,但是在封测厂中会经常用到,麻烦讲一下超声波扫描显微镜的原理与用途

什么是超声波扫描显微镜?

超声波扫描显微镜,英文名scanning acoustic microscope,常缩写为SAM。是一种利用超声波进行的非破坏性检测的显微镜。SAM以水为介质,传输超声波,当超声波遇到不同密度的界面(如空隙、裂纹或分层),反射回来的超声波信号,会被转换回电信号,经过处理后形成材料内部的声学图像。

超声波扫描显微镜SAM有什么作用?_封装

超声波扫描显微镜的用途?

在封装结束后,芯片被环氧树脂牢牢包裹。为了快速,无损,经济地找到失效原因,即可考虑使用SAM。超声波能够穿透大多数的材质,无需破坏材料,即可直接获得封装后的芯片内部信息。

SAM可以用来检测芯片封装中的空隙、裂纹、气泡,夹杂或分层等缺陷,确保封装质量。也可以用于芯片的晶圆键合和金线键合的质量。

超声波扫描显微镜SAM有什么作用?_半导体_02

超声波扫描显微镜的缺点?

1,需要液体介质传输超声波。因此,在使用SAM时,需要将样品浸没在水中。

2,难以检测表面粗糙或内部含有大量气泡的样品。粗糙的表面会散射超声波,使其无法均匀进入样品内部,导致成像效果不佳;而大量气泡也会导致超声波的反射、散射,使超声波无法顺利传输,严重影响成像的质量和深度。

超声波扫描显微镜SAM有什么作用?_封装_03