影响坐标测量机的测量不确定度有两个方面：测量机特有的影响和非测量机特有的影响：
测量机特直的影响包括
坐标系（静态）——位置偏差、垂直度偏差、直线度偏差、角摆偏差
动态特性——与测量机的结构、组件的配置有关，与移动速度、接触力、加速度有关，并包括过渡过程的时间效应、动态变形性能。
探测系统——测头的各向导性、零点、运动速度的响应，测头系统的特征曲线，测杆的刚性、球的形状以及运动部件的综合作用。
控制系统——包括控制的精度等
软件——包括软件的算法、求值方法、所有补偿程序等
附加装置——圆转台等
非测量机特直的影响包括
环境条件：温度、振动等
工作方式和操作特性：工件的固定方式、表面状况、硬度、接触力及测量方法等
测量任务的定义：技术图纸
测量工件：表面特性、形状、硬度、伸缩性，及有关引力和测力压力的塑性变形等
坐标测量机的几何误差有几种
通常将坐标测量机的几何参数误差按其在各运动自由度方向作用分类，分为三项位置度、六项直线度、九项角摆误差、以及三轴之间的三项相互垂直度，共二十一项参数误差。
二十一项参数误差的测量可以使用不同的测量仪器进行检测以便于修正，包括双频激光干涉仪、电子水平仪、直角尺、高精度电感测微仪，但是，需要注意的是，使用上述仪器测量参数误差时，测量结果可能是几种参数误差的综合结果。
