文介绍了脉冲等离子体技术在干法刻蚀领域的应用背景,从半导体制程工艺需求层面讲述了纳米量级的刻蚀制程对等离子体参数的需求。重点对脉冲等离子体工作机制、脉冲匹配技术和脉冲等离子体诊断技术研究进展进行了论述。关键词:干法刻蚀,等离子体损伤,脉冲等离子体1. 引言伴随着摩尔定律的发展,半导体芯片的晶圆尺寸越来大,,刻蚀的线宽也逐步缩小。随着线宽的逐步降低,等离子体刻蚀过程导致的损伤问题日益突出。
转载 2023-11-14 10:34:24
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描述脉冲信号脉冲信号是一种离散信号,形状多种多样,与普通模拟信号(如正弦波)相比,波形之间在时间轴不连续(波形与波形之间有明显的间隔)但具有一定的周期性是它的特点。最常见的脉冲波是矩形波(也就是方波)。脉冲信号可以用来表示信息,也可以用来作为载波,比如脉冲调制中的脉冲编码调制(PCM),脉冲宽度调制(PWM)等等,还可以作为各种数字电路、高性能芯片的时钟信号。脉冲信号怎么产生脉冲信号一般都是利用自
脉冲测试1. 双脉冲测试的意义 首先是对比不同开关管参数及性能,同时可以获取开关管开关过程中的参数,评估驱动电阻数值是否合适,是否需要吸收电路等。而且可以考量开关管在实际电路中的实际表现,反向恢复电流,关断电压尖峰,开通关断时间等。2.双脉冲测试的原理以下图集成驱动电路简化进行分析图1 双脉冲测试原理图双脉冲测试通常以半桥形式测试,所谓双脉冲就是上管持续关断,下管驱动信号给定两个
1.在通信系统中,除了常见高斯白噪声还有哪些噪声会对我们无线传输造成影响?脉冲噪声是突发性地产生的,幅度很大,持续时间比间隔时间短得多。由于其持续时间很短,故其频谱较宽,可以从低频一直分布到甚高频,但是频率越高其频谱的强度越小。电火花就是一种典型的脉冲噪声。脉冲噪声不是普遍存在的,对于话音信号的影响较小,但是在编码信道中,这类突发性的脉冲噪声会给数字信号的传输带来严重的后果,甚至发生一连串的误码。
基本内容获取矩形脉冲波形的途径不外乎两种:一种是利用各种形式的多谐振荡器电路直接产生所需要的矩形脉冲,另一种则是通过各种整形电路将已有的周期性变化波形变换为符合要求的矩形脉冲。在同步时序电路中,作为时钟信号的矩形脉冲控制和协调着整个系统的工作。主要参数脉冲周期T周期性重复的脉冲序列中,两个相邻脉冲之间的时间间隔。有时也使用频率f=1/T表示单位时间内脉冲重复的次数。脉冲幅度Vm脉冲电压的最大变化幅
一个周期性的脉冲信号,我们希望可以提供0和1的电平值边沿的好坏,跳转时间长,效果就不好,特性就不好,所以描述周期性的脉冲信号的时候,有相应的参数,高低电平我们一般画成等宽的,尽管周期一样,有时候我们对于脉宽的要求是不一样的接下来我们来看一下,对一个脉冲波形的描述,有哪些参数脉冲的幅度:高电平和低电平的差值就是脉冲输出的高电平减去脉冲输出的低电平, 脉冲宽度  后一半下
        一个汽车电子模块制作出来后,需要通过实验验证,才能基本保证在实车上运行正常。这些实验主要是模拟实车各种工况下的异常电压。        ISO 7637-2 2011和ISO 16750-2 2010定义了常见的脉冲,前者定义了脉冲1、脉冲2a、2b、脉冲3a、3b;后者定义了电压突降、抛负载等。脉冲1
# Python 脉冲:Python 编程中的核心概念 Python 是一种强大且易于学习的编程语言,因其简洁的语法和丰富的库,使得它在数据科学、机器学习、网站开发及其他众多领域中广泛应用。本文将介绍 Python 编程中的一些基本概念,并通过示例代码深入剖析。 ## 什么是 Python? Python 是一种高级编程语言,由 Guido van Rossum 在 1991 年创建。它的设
原创 11月前
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原因:雷达的作用距离与距离分辨力存在矛盾。最大作用距离对于脉冲压缩雷达,存在以下关系。                                              &
数字电子时钟设计与实现设计要求设计实现系统概述单元电路设计555 定时器计数电路显示电路 设计要求1.采用12小时的计时方式。 2.四位数码管显示时、分,小时和分钟间的小数点以1Hz的频率闪烁表示秒。 3.具有快速校时和校分的功能。设计实现系统概述首先,思考时钟的工作方式,六十秒进一位,六十分进一位,十二个小时归零。因为是要通过产生秒脉冲,显示时与分,所以第一应该思考如何产生秒脉冲。可以通过55
脉冲时间信号MATLAB表示》由会员分享,可在线阅读,更多相关《脉冲时间信号MATLAB表示(6页珍藏版)》请在人人文库网上搜索。1、实验1 连续时间信号在MATLAB中的表示1. 实验目的学会运用MATLAB表示常用连续时间信号的方法;观察并熟悉这些信号的波形和特性。2. 实验原理在某一时间区间内,除若干个不连续点外,如果任意时刻都可以给出确定的函数值,则称该信号为连续时间信号,简称为连续信号
 1、三角信号三角信号在MATLAB中用tripuls函数表示。```  ft = tripuls(t,width,skew)```产生幅度为1,宽度为width,且以0为中心左右各展开width/2大小,斜度为skew的三角波。width默认值为1,skew的取值范围为[-1,1]。在Python中用一个分段函数来表示三角信号。Python代码如下:""" 三角信号 """ impor
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1.常见的噪声图像常常被强度随机信号所污染.一些常见的噪声有椒盐(Salt & Pepper)噪声、脉冲噪声、高斯噪声等。椒盐噪声含有随机出现的黑白强度值。脉冲噪声则只含有随机的白强度值(正脉冲噪声)或黑强度值(负脉冲噪 声)。与前两者不同,高斯噪声含有强度服从高斯或正态分布的噪声。椒盐噪声:2.滤波器 消除图像中的噪声成分叫作图像的*滑化或滤波操作。对滤波处理的要求有两条:  一是不能损
如何发送指定数量的脉冲信号 文章目录如何发送指定数量的脉冲信号1 需求分析2 救世主-pigpio3 用pigpio发送指定数量的脉冲3.1 wave_add_generic(pulses)函数介绍3.2 wave_create()函数介绍3.3 wave_chain()函数介绍4 步进电机精确控制代码 1 需求分析当我们在控制步进电机的时候,发送一定数量的脉冲信号是非常需要的,因为步进电机会根据
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通常图中会有很多脉冲脉冲会以特定的规律在各条端口线上出现。除时间外,一般要注意上升沿、下降沿、高电平、低电平。一般都会有时钟或同步信号,其它信号都是根据这个来工作的。 这里用IIC总线的一个图进行简单的说明。     图中有3个时序脉冲,从上到下分别为SCL(串行时钟线),SDA IN(串行数据输入线),SDA OUT(串行数据输出线) 图中SCL开
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clear all;close all;clc;f0 = 10e9; Tp = 10e-6; B = 10e6; fs = 100e6; R0 = 3000; c = 3e8; tr = 2*R0/c; k = B/Tp; N = 4096; t = (0:N-1)/fs;%% 发射信号 S0 = rectpuls(t-Tp/2,Tp) .* exp(1ipik*(t-Tp/2).^2); fi
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这里介绍的光电耦合器是由发光二极管和光敏三极管组合起来的器件,发光二极管是把输入边的电信号变换成相同规律变化的光,而光脉敏三极管是把光又重新变换成变化规律相同的电信号,因此,光起着媒介的作用。由于光电耦合器抗干扰能力强,容易完成电平匹配和转移,又不受信号源是否接地的限制。所以应用日益广泛。一、用光电耦合器组成的多谐振荡电路用光电耦合器组成的多谐振荡电路见图1。当图1(a)刚接通电源Ec时,由于UF
范文范例参考基础知识: 51 单片机编程基础第一节:单数码管按键显示第二节:双数码管可调秒表第三节:十字路口交通灯第四节:数码管驱动第五节:键盘驱动第六节:低频频率计第七节:电子表第八节:串行口应用基础知识: 51 单片机编程基础单片机的外部结构 :1. DIP40 双列直插;2. P0,P1,P2,P3四个 8 位准双向 I/O 引脚;(作为 I/O 输入时,要先输出高电平)3. 电源 VCC(
Deep Learning in Spiking Neural Networks作者:Amirhossein Tavanaei, Masoud Ghodrati, Saeed Reza Kheradpisheh, Timoth´ee Masquelier and Anthony Maida 尽管SNN的性能仍有待提高,但是SNN的应用和研究已经逐渐有了起色,其实已经有很多不错的综述文献可以作为入门
我们都知道在学校是通过铃声来控制所有班级的上下课时间,那个单片机是通过什么样的办法进行取指令,执行指令和其它操作的呢?在这里引入了一个时序的概念:一、时钟电路 单片机时钟电路有三种方式: 1、单片机内部有一个用于构成振荡器的高增益反相放大器,引脚XTAL1和XTAL2分别是此放大器的输入端和输出端,XTAL1和XTAL2需外接上晶体和合适的电容。2、有的单片机内部也自带时钟电路,用于产生时钟信号。
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