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从这篇文章开始,我会陆续归纳总结实践中所需要的技术,以专题的形式推出,有知识也有干货。高手路过,定评一番,相互切磋,共同学习进步。新人路过,解答疑惑,有所收获的,点赞分享。漫漫技术路,我们一起修炼升级。

今天我们就来讲一讲看似简单却又不可缺少的Seal ring在这其中的作用,当我们完成整个芯片的版图设计后往往要在外围给它加个围墙,保护最为珍贵的它不受到伤害,就像是中间的房子盖好了,外面再拉一个围墙一样。

认识它--Seal ring是什么?

从layout角度看,seal ring是一个由diff(有源区)、 contact(过孔)、 via(通孔)和metal(金属)等layer(层次)按照一定的规则叠加组成的图形,(参照所给的design rule严格的画)。

从工艺角度看,seal ring是一种金属层、氧化层、钝化层结构。像一圈堤坝,将芯片围在圈内保护起来。

从晶圆角度看,seal ring是介于芯片(chip)和划片槽(scribe line)之间的(保护)环。

不同的角度,不同的理解,就会有不同得定义,首先来了解下,Seal ring有什么用吧?

mpls te封包_seal ring

Seal ring的作用就是防止芯片在切割的时候受到机械损伤,还有一些搭顺风车来得作用,我们了解下:

a) 把Seal ring接地,屏蔽芯片外的干扰;

b) Seal ring可以防止潮气从侧面断口侵入;

c) 将切割所产生的静电就近接地,再由切割时邻近的Seal ring共同分摊所产生的电流,将对die本体的冲击降到最小。

Seal ring就像是芯片的长城一样,从四周环绕包围,防止划片(芯片切割)时伤害到内部电路,另外还能防止外界灰尘进入芯片内部。

Seal ring是为了保护真正芯片的部分留有这个保护,划片刀砍下去的时候是在这个ring的外面砍下去的。(有些时候为了节省IC的面积,就干脆不做Seal ring了,只是留一个buffer的宽度在IC的外面 ,这种大家还是别这样了,为了祖国得IC品质,还是跟老板争一争吧)。

电路中一般都不允许使用长条接触孔或者过孔的。但是Seal ring上的接触孔和过孔。一般都要求使用一个整条的长方形孔,整个一周形成护城河形式,这个是因为Seal ring在切片过程中防止水汽进入芯片内部电路,而护城河形式的孔可以很好的吸收切片过程中所形成的水汽。

Seal ring外有划封线(Scribe line),Scribe line是用来分裂芯片的,为避免造成对内部电路的破坏,所以Seal ring到内部电路有10um距离要求。

在Scribe line上切割时,可能有应力作用到chip内部,加Seal ring可以阻止切割时产生的裂痕损坏到芯片。相邻的contact,via层的图形必须错开。有时contact,via并不是画成一个一个小方块。而是一个长条。

版图中有两个与Seal ring相似的兄弟,可能会让一些人感到迷惑也可能会混淆各自的作用,一个是Guard ring一个是Scribe line,简单的帮助大家区分一下:

(1).Seal ring(封装条)与Guard ring(保护环)是不同的。

Seal ring是在芯片IO ring 之外的密闭环(所用层基本涵盖所有mask layer);Guard ring通常用于电路内部block与block之间的隔离,所用层通常是nwell 或psub,或两者一同使用。

(2).Seal ring(封装条)与Scribe line(划片槽)的区别。

Scribe line,是把芯片从晶圆上切下来的线,是要实际走刀子的地方,而Seal ring是围在芯片周围的一圈从衬底到最上层金属全部都打一圈的保护圈。Seal ring,它的作用有两个:主要作用是防止芯片在切割的时候的机械损伤,尤其是芯片的四个角一般都不放重要器件;其次的作用是Seal ring接地,屏蔽芯片外的干扰。

Seal ring的实例图层解析

如图所示这是一个28nm工艺的 design rule Seal ring结构图

其包含Seal ring enhanced zone 需要的space 6um

Seal ring wall 需要10um

Scribe line 需要8um

mpls te封包_图层_02

ntc1121工艺下2层metal的seal ring 在layout中的结构

mpls te封包_seal ring_03

整个Seal ring在芯片的位置其工艺下的seal ring由以下层次组成 DIFF注入,CONTACT 孔, M1, VIA1, M2

接下来一层一层演示:

DIFF注入

mpls te封包_芯片封装_04

DIFF注入,CONTACT 孔

mpls te封包_mpls te封包_05

DIFF注入,CONTACT 孔,M1

mpls te封包_芯片封装_06

DIFF注入,CONTACT 孔,M1,VIA1.M2

mpls te封包_封装_07

版图中如何下手:seal ring怎么画,怎么放,怎么接?

1.seal ring怎么画?

如果不想承担什么风险, 给芯片添加seal ring这件事可以交给foundry,出钱就行。不过多数时候我们宁可自己动手去做这些事情。一般情况下foundry都会在design rule中清楚的规定seal ring的结构及尺寸。常见的seal ring会将工艺中所有的层都列出来,并标明 dark or clear,用这里的dark和clear去对照工艺制作过程中这些layer的dark或clear,如果同为dark或clear则seal ring上面有这层,反之则seal ring上没有这层。

根据经验,建议自己去画这个seal ring。一方面,design rule上面一般都会给的很清楚,并非难事。另一方面,也是自己对芯片的可控性问题。

design rule中的contact和via都是我们常用的方孔,固定尺寸的。这是工艺中实际实验出来的最优的方案。但是seal ring一般情况下都是采用的是长孔,像环一样的包围起来,起到像长城阻挡外围的作用。

seal ring一般要离芯片core有一定的距离,如果芯片面积宽松可以参考design rule,因为rule的规定通常比较大;当然出于成本的考虑,我们宁可根据流片经验自己定义。一般design rule上的这个距离是保守的。

2.seal ring怎么放?

seal ring外面有划封线,这个是用来分裂芯片的,为避免造成对内部电路的破坏,所以seal ring到内部电路有10um距离要求。

3.seal ring怎么接?

一般的PSUB工艺都会将seal ring做成P+的,接到芯片的ground,而其浮空一般也不会有影响;无特殊情况不能接到power。

最好不要用metal1去将core和seal ring连接在一起,而是用其它上层 metal,但是有的工艺却是指定最好是用metal1去连接。如果有diff层连到seal ring, 在靠近seal ring的diff上面做一小段salicide结构(通常是加rpo或sab),这样对防止ESD绝对好处大大的。

如有需要开槽的宽金属连接到seal ring,请尽量不要在靠近 seal ring的地方开槽,非开槽不可的话那尽量开的小点,这些都是防止外界的杂质等进入芯片。这个是要特别注意的,连接到seal ring上面的宽金属slot要小心。

关于Seal ring的介绍就到这里了,课后留给大家一个小问题,希望大家积极与我们参与互动。如果对于Seal ring还有什么其他问题,也欢迎同学们参与回复提出问题,我们会及时为你解惑答疑。

一课一练:Seal ring与内部电路之间为什么规有10um的距离?