一、原理介绍

径向剪切,产生的两个波面的变形相同,但其中的一个波面大于另一个波面。

径向剪切干涉仪原理如图所示:

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图1 径向剪切干涉仪原理

入射光经径向剪切干涉仪后分光镜或类似光学器件分成两束光:一束光经过由透镜等光学元件组成的扩束系统,原始待测光束被扩束后形成与待测光束具有相同光场分布但口径被放大的扩束光束出射;另一束光经过相应的缩束系统,此时原始待测光束被缩束后形成与待测光束具有相同光场分布但口径被缩小的缩束光束出射。被缩束和扩束后的光束在相互重叠区域内形成干涉条纹。径向剪切干涉仪波前探测的本质是通过对两束相干光束的干涉条纹进行解释,最终复原出原始待测波前畸变,可对平行光束和会聚光束进波前测量。当待测畸变光束入射到径向剪切干涉仪后,会分离成扩束和缩束的两東光束,并在某一位置形成同心光束对。因此,该光束对在相互重叠区域将会相互干涉,并形成干涉条纹。

近年来,径向剪切干涉仪已经应用到很多领域,如光学面形检测、人眼角膜地形图测量、自适应光学波前探测和激光光束质量诊断等领域。

相对其他种类的干涉仪而言,径向剪切干涉仪一般采用共光路结构设计,干涉条纹稳定,抗干扰能力较强。另外,径向剪切干涉仪不需要设置专门的参考光路,光能利用率较高。

二、仿真结果

仿真结果如下所示:

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图2 高阶像差的径向剪切干涉仿真